Kartezyen felsefede nesnelerin sahip olduğu asli ve arızi niteliklerin bir dayanağı vardır. Bu dayanak da tözdür. Descartes'a göre ne birincil nitelikle ne de ikincil nitelikler, kendi başlarına varolabilirler; bunlar ancak bir töz ile kaim olabilirler. Biri yaratılmamış (Tanrı) ve ikisi de yaratılmış (madde ve ruh) olmak üzere üç töz olduğunu iddia eden Descartes'ın töz tanımı, Aristoteles'in töz tanımından pek de farklı değildir. O da Aristoteles gibi tözü kendi başına varolan ve yalnızca kendi başına kavranabilen bir şey olarak tanımlar. Descartes, Felsefenin İlkeleri"nde tözü şu şekilde tanımlar: "Töz derken kastettiğimiz şey, varoluşu hususunda kendisinden başka hiçbir şeye dayanmayan şeydir". Bu tanıma göre ancak Tanrı töz olabilir, zira ancak O, başka herşeyden bağımsız bir şekilde varolabilir. Buna karşılık, ruh ve madde varoluşları itibariyle Tann'ya dayanmalarına karşın başka herhangi bir yaratılmış şeye dayanmazlar ve dolaysıyla da ikincil bir anlamda töz olarak kabul edilirler.